洁净室设计

洁净室设计一、 定义及分类1、 洁净室定义:洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。2、 洁净室的分类2.1. 按用途分类(1)、工业洁净室——...

2023-05-30 25 0

半导体制造导论

第五章章前1至少列出三种重要的加热制程氧化,退火,沉积是三种重要的加热制程2说明直立式和水平式炉管的基本系统并列出直立式炉管的优点气体输送系统,制程炉管,控制系统,气体排放系统,装载系统。LPCVD的话再加上真空系统优点:占地面积小,微粒污染较低,能够处理大量的晶圆,均匀性较佳,维修成本较低3.说明氧化制程氧化是最重要的制程之一,它是一种添加制程,把氧气加到硅晶圆上,在晶圆表面形成二氧化硅4.说明...

2023-05-25 11 0

液晶显示器内部结构图

液晶显示器内部结构图 [图片]何谓TFT-LCD?TFT-LCD 即是Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display的缩写(薄膜电晶体液晶显示器)TFT-LCD如何点亮?简单说,TFT-LCD面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶,上层的玻璃基板是与彩色滤光片(Color Filter) 结合,而下层的玻璃则有电晶体镶嵌于上。 当电流通过电晶体产生电场变化,...

2023-05-19 8 0

工艺稽查制程检查表

工艺稽查制程检查表**2011年4月**工艺稽查制程检查表**2011年4月**工艺稽查制程检查表**2011年4月**工艺稽查制程检查表**2011年4月**QF-08-033a...

2023-05-11 8 0
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