净化工程是什么?
净化工程是指将一定空气范围内空气中的微粒子,有害空气,细菌等污染物排除,并将室内的温度,洁净度,室内压力,气流速度于气流分布,噪音震动及照明,静电控制在某一需求范围内,这样的一个过程叫净化工程。净化工程而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化工程最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间的设计施工过程我们称之为净化工程。
净化工程分类:
净化工程主要有:净化车间、无尘室、无尘车间、洁净室、净化间、无菌室、医院手术室、净化装修工程;从事生产风淋室、传递窗、自动洗手烘干机、风机滤网机组FFU、超净工作台、洁净棚不锈钢桌椅、货架等,洁净技术通常包括:空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术.
净化工程一般是建设洁净室的工程。
一、洁净室之定义
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可
能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
二、洁净室控管之项目
1.能除去空气中飘游之微尘粒子。
2.能防止微尘粒子之产生。
3.温度和湿度之控制。
4.压力之调节。
5.有害气体之排除。
6.结构物与隔间之气密性。
7.静电之防制。
8.电磁干扰预防。
9.安全因素之考虑。
10.节能之考量。
三、洁净室之分类
1.乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar):
3.层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
纯臻净化工程目前是国内提供无尘车间设计装修净化工程施工改造的企业。
美国联邦标准209E洁净室规格
美国联邦标准209E
超净工作台工作原理及正确使用方法
超净台的优点是操作方便自如,比较舒适,工作效率高,预备时间短,开机10分钟以上即可操作,基本上可随时使用。在工厂化生产中,接种工作量很大,需要经常长久地工作时,超净台是很理想的设备。超净台由三相电机作鼓风动力,功率145~260W左右,将空气通过由特制的微孔泡沫塑料片层叠合组成的“超级滤清器”后吹送出来,形成连续不断的无尘无菌的超净空气层流,即所谓“高效的特殊空气”,它除去了大于0.3μm的尘埃、真菌和细菌孢子等等。超净空气的流速为24~30m/min,这已足够防止附近空气可能袭扰而引起的污染,这样的流速也不会妨碍采用酒精灯或本生灯对器械等的灼烧消毒。工作人员就在这样的无菌条件下操作,保持无菌材料在转移接种过程中不受污染。但是万一操作中途遇到停电,暴露在未过滤空气中的材料便难以幸免污染。这时应迅速结束工作,并在瓶上作出记号,内中的材料如处于增殖阶段,则以后不再用作增殖而转入生根培养。如为一般性生产材料,因极其丰富也可弃去。如处于生根过程,则可留待以后种植用。
超净台电源多采用三相四线制,其中有一零线,连通机器外壳,应接牢在地线上,另外三线都是相线,工作电压是380V。三线接入电路中有一定的顺序,如线头接错了,风机会反转,这时声音正常或稍不正常,超净台正面无风(可用酒精灯火焰观察动静,不宜久试),应及时切断电源,只要将其中任何两相的线头交换一下位置再接上,就可解决。三相线如只接入两相,或三相中有一相接触不良,则机器声音很不正常,应立即切断电源仔细检修,否则会烧毁电机。这些常识应在开始使用超净台时就向工作人员讲解清楚,免除不应造成的事故与损失。
超净台进风口在背面或正面的下方,金属网罩内有一普通泡沫塑料片或无纺布,用以阻拦大颗粒尘埃,
应常检查、拆洗,如发现泡沫塑料老化,要及时更换。除进风口以外,如有漏气孔隙,应当堵严,如贴胶布,塞棉花,贴胶水纸等。工作台正面的金属网罩内是超级滤清器,超级滤清器也可更换,如因使用年久,尘粒堵塞,风速减小,不能保证无菌操作时,则可换上新的。
超净台使用寿命的长短与空气的洁净程度有关。在温带地区超净台可在一般实验室使用,然而在热带或亚热带地区,由于大气中含有高量的花粉,或多粉尘的地区,超净台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情况下不应将超净台的进风罩对着开敞的门或窗,以免影响滤清器的使用寿命。
无菌室应定期用70%酒精或0.5%苯酚喷雾降尘和消毒,用2%新洁尔灭抹拭台面和用具(70%酒精也可),用福尔马林(40%甲醛)加少量高锰酸钾定期密闭熏蒸,配合紫外线灭菌灯(每次开启15分钟以上)等等消毒灭菌手段,以使无菌室经常保持高度的无菌状态。接种箱内部也应装有紫外线灯,使用前开灯15分钟以上照射灭菌,但凡是照射不到之处仍是有菌的。在紫外线灯开启时间较长时,可激发空气中的氧分子缔合成臭氧分子,这种气体成分有很强的杀菌作用,可以对紫外线没有直接照到的角落产生灭菌效果。由于臭氧有碍健康,在进入操作之前应先关掉紫外线灯,关后十多分钟即可入内。
在超净工作台上亦可吊装紫外线灯,但应装在照明灯罩之外,并错开照明灯平行排列,这样在工作时
不妨碍照明。若将紫外线灯装入照明灯罩(玻璃板)里面,这是毫无用处的,因为紫外线不能穿透玻璃,它的灯管是石英玻璃,而不是硅酸盐玻璃制成的。接种室内力求简洁,凡与本室工作无直接关系的物品一律不能放入,以利保持无菌状态。
接种室内的空气与外界空气应绝对隔绝,预留的通气孔道应尽量密闭。通气孔道可设上下气窗,气窗面积宜稍大,需覆上4层纱布作简单滤尘。在一天工作之后,可开窗充分换气,然后再予以密闭。总之,既要清洁无尘无菌,又要空气新鲜,适宜工作。覆在通气窗上的纱布应经常换洗。但是上述种种措施只是理想的设计方案,往往不易全面做到,其实只要严格无菌操作手续,在门窗敞开的室内,有一超净台的保护,接种的污染率仍可控制在生产上可以容忍的水平.
洁净技术适用行业
室内空气质量标准GB/T18883-2002
一、室内空气应无毒、无害、无异常嗅味
二、室内空气质量标准见表
其中:

更多推荐

空气,超净,工作,净化,洁净度,控制,生产